Единственно чем могу помочь, это даю ссылку на компанию, которая занимается продажей таких установок.
http://www.ostec-micro.ru/equipment/podgroup/10.html - общая инфа
http://www.ostec-micro.ru/equipment/prod/28.html - конкретно вот эта установка
Так как не кто не чего не знает, по данной теме, советую на прямую обратиться в эту контору и объяснить ситуацию - типа студент "вся фигня" и пообещать пропиарить их компанию в своем курсовом, а их попросить дать технологию.
А вообще то мне не понятно, как преподы Вам дают задание, которое Вы не можете выполнить?
И традиционный вопрос: Что за институт?